7月3日至5日,國際顯示技術及應用創新大會在上海舉行,即將在我市投產的新產品——半導體晶圓輸送機器人亮相展會。
據了解,晶圓輸送機器人承擔著晶圓精確定位與平穩搬運的任務,是半導體制造裝備中使用最多的機器人設備。晶圓輸送機器人的定位傳輸精度,直接決定著晶圓傳輸設備整機系統的傳輸精度。由于零部件構造復雜、精度要求嚴苛等問題,這一技術一直是半導體制造裝備領域的一大難點,長期被國外壟斷。
為攻克這一技術難關,山東現代慶煬智能裝備有限公司(以下簡稱現代慶煬)研發團隊歷經多年研發,成功研制出半導體晶圓輸送機器人和晶圓自動上下料機器人。這一系列產品能夠實現晶圓高效、穩定運輸,為晶圓自動化搬運保駕護航,助力我國半導體制造裝備行業發展。
展會上,現代慶煬還與成都環龍智能機器人有限公司等4家企業進行了現場簽約,雙方將在半導體晶圓輸送機器人及其他領域開展深度合作。記者了解到,另外還有十余家未到場企業有合作意向。
“淄博作為老工業基地,工業門類齊全,產業基礎雄厚,特別是近年來對機器人產業扶持力度大。工博士將以此次簽約為契機,期待未來能繼續與這座城市攜手共進。”簽約嘉賓工博士機器人智能裝備事業部總經理姚雪在現場說。
今后,這一產品將落地臨淄智能機器人產業基地,進一步延伸我市機器人產業鏈,推動我市機器人產業生態更加豐富。(記者趙培珊 胡明)